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數(shù)字鏡陣列 (DMD) 或微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 由一組小型矩形反射鏡組成。每個鏡子可以有不同的傾斜度。這些設(shè)備可用于許多應(yīng)用，包括光譜學(xué)（鏡子可以在不同位置發(fā)送不同波長的光）和DLP投影技術(shù)-將圖像從監(jiān)視器投影到大屏幕上。OpticStudio可以使用DLL對它們進(jìn)行連續(xù)建模，或者使用MEMS對象對它們進(jìn)行非序列建模。 作者 Michael Humphreys and Sandrine Auriol 文件下載附件下載 什么是DMD/ MEMS下圖顯示了一個DMD設(shè)備(https://ibsen.com/technology/spectrometer-tutorial/dmd-spectrometers/)它單獨(dú)傾斜的微鏡組成。鏡子通常被稱為像素。 如何在OpticStudio中建模DMD這些設(shè)備可以在序列或非序列模式下建模。 模式 | 對象 | 示例文件 | 序列 | User Defined Surface called us_mems.dll | {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous\MEMS DLL Sample.ZMX | 非序列 | MEMS | {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx" |
如何計(jì)算單個像素/鏡子的旋轉(zhuǎn)本節(jié)將說明如何設(shè)置單個像素的旋轉(zhuǎn)。像素可以按行（在這種情況下，一行鏡子將始終處于相同的狀態(tài)/傾斜）、按列（在這種情況下，一列鏡子將始終處于相同的狀態(tài)/傾斜）或按像素單獨(dú)設(shè)置。 在本節(jié)中，我們將解釋如何單獨(dú)設(shè)置像素，即當(dāng)P-Flag參數(shù)等于2時(shí)。 MEMS可以看作是一個網(wǎng)格，從左下角開始，隨著您向右移動，然后向上移動一排，像素?cái)?shù)會增加。 如下這個例子，下面是一個 6x6 的網(wǎng)格。類似最多3750個元素的任何網(wǎng)格大�。ㄓ嘘P(guān)更多信息，請參閱幫助文件）。 MEMS對象一次考慮15個像素/鏡子的組。 因此，如果MEMS是 6x6 網(wǎng)格，則意味著它總共有36個像素，所以共有3組：2組15像素和1組6像素： 這些組將由不同的參數(shù)設(shè)置： 模式 | 行/列/鏡像狀態(tài) 1-15 | 行/列/鏡像狀態(tài) 16-30 | 行/列/鏡像狀態(tài) 31-45 | 組別 | 綠色 | 黃色 | 橙色 | 序列模式 | 參數(shù)14標(biāo)記為“像素 1-15” | 參數(shù)15標(biāo)記為“像素16-30” | 參數(shù)16標(biāo)記為“像素31-45” | 非序列模式 | 標(biāo)有“像素1-15”的Par 10列 | 標(biāo)有“像素16-30”的Par 11列 | 標(biāo)有“像素31-45”的Par 12列 |
由于每個分組都有一個基數(shù)為3的數(shù)字來告訴OpticStudio如何指向單個像素，像素的分組可以如下所示進(jìn)行歸一化，每個值對應(yīng)于您需要將基數(shù)3提高到的冪： 每個像素可以具有對應(yīng)于角度0、角度1和角度2的三個值（0、1、2）之一。 假設(shè)角度值定義為： - 角度 0 = 12°
- 角度 1 = 0°
- 角度 2 = -8°
下面的網(wǎng)格顯示了每個像素的狀態(tài)： 現(xiàn)在，要計(jì)算行/列/鏡像1-15的狀態(tài)值，您需要使用以下等式： P = <span id="MathJax-Element-1-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="∑" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">∑∑(像素的角度狀態(tài)*3^(像素?cái)?shù)-1)) 需要對像素 16-30 和像素 31-45 重復(fù)此過程。 Excel宏計(jì)算像素傾斜附件中的 Excel 宏工作簿有助于計(jì)算這些值。 要運(yùn)行 Excel 宏： - 點(diǎn)擊 Table
- 然后單擊MEMS按鈕（確保已設(shè)置 Excel 安全性以運(yùn)行宏）。
將出現(xiàn)一個用戶表單，您可以在其中輸入X像素和Y像素 - 然后單擊創(chuàng)建表。如果您之前有以前的數(shù)據(jù)，您應(yīng)該檢查Clear Previous Table
然后這將填充2個表格，其中一個位于頁面頂部，顯示行、列、像素?cái)?shù)和15個像素的分組，您可以將其用作指南。第二個表格，從我們的6x6示例的第13行開始（該行將根據(jù)您選擇的X像素的數(shù)量而變化）是您應(yīng)該輸入0/1/2像素值狀態(tài)的地方。 輸入這些值后，單擊“計(jì)算P Val”按鈕。然后，宏將計(jì)算復(fù)制并粘貼到OpticStudio中所需的值： 序列模式下的MEMS讓我們看一下 {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous\MEMS DLL Sample.ZMX 下的Sequential Mode示例文件 該示例文件描述了一個4x4 MEMS反射鏡。 因此，該器件可以看作： 現(xiàn)在讓我們看看像素處于哪個狀態(tài)。P flag = 0表示鏡像按行尋址。
參數(shù)“第 1-15 行”的值 = 5
參數(shù)“第 1-15 行”的值 = <span id="MathJax-Element-2-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )参数“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )參數(shù)“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )參數(shù)“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4
作為參數(shù)“Rows 1-15” = 5的值，這意味著<span id="MathJax-Element-3-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row3" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row3Row3 = 0 和 <span id="MathJax-Element-4-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row4" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row4Row4 = 0
然后我們可以推導(dǎo)出 <span id="MathJax-Element-5-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row2" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row2Row2 = 1和<span id="MathJax-Element-6-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row1" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row1Row1 = 2 像素狀態(tài)定義如下： 這意味著我們有以下角度。 旋轉(zhuǎn)角度為45度。初始尖端平面沿+X。然后這些角度圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)以使鏡子尖端。 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | -10 | -10 | -10 | -10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
所以布局顯示鏡子的不同部分有不同的角度： 非序列模式下的MEMS讓我們看一下 {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx 下的Non-Sequential Mode示例文件 該示例文件描述了一個 1x15 MEMS反射鏡。 因此，該器件可以看作： 現(xiàn)在讓我們看看像素處于哪個狀態(tài)（0,1,2）。 P flag = 2，因此這意味著鏡像是單獨(dú)尋址的。
參數(shù)“像素 1-15”的值= 13245761。
我們可以推斷像素狀態(tài)定義如下： 這意味著我們有以下角度。 10 | -10 | 10 | 10 | -10 | 10 | 0 | 10 | 10 | -10 | 10 | 10 | -10 | 10 | 10 |
結(jié)論MEMS可以在OpticStudio中輕松建模。
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