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引言
& ?4 z2 h. x; s0 Q半導體行業(yè)不斷發(fā)展,推動技術邊界,以滿足對更快、更高效、更強大電子設備的持續(xù)增長需求。這一領域的關鍵創(chuàng)新之一是先進半導體封裝。本文簡介2.5D和3D封裝技術的發(fā)展、優(yōu)勢和挑戰(zhàn),以及在各種應用中的影響[1]。
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半導體封裝的演變
& z/ K- b6 f4 L5 L" ~半導體封裝技術已從最初的1D PCB水平發(fā)展到今天的晶圓級3D混合鍵合封裝。這一進步實現(xiàn)了單位數(shù)微米的互連間距,能夠以高能效達到超過1000 GB/s的帶寬。1 m1 ~, |) h5 o: `# C
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四個關鍵參數(shù)塑造了先進半導體封裝的發(fā)展:功率:通過創(chuàng)新封裝技術提高功率效率。性能:通過縮短互連間距增加輸入/輸出(I/O)點數(shù),提高帶寬并減少通信長度。面積:高性能計算芯片需要更大的封裝面積,而3D集成則需要更小的z軸尺寸。成本:通過使用替代的更經(jīng)濟材料或提高制造設備效率,持續(xù)降低封裝成本。) q! E) ~" y' f7 [# @+ r
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; }1 w1 t( P5 U: D2.5D封裝技術
, T9 p( T8 Y' k" s$ U3 V8 f2.5D封裝技術涉及使用中間層連接多個芯片。根據(jù)中間層材料的選擇,2.5D封裝分為三種主要類型:
$ O$ d" O9 U3 Z2 }1. 硅基中間層:# ~* [8 i; \/ `: P% \5 r5 ~
兩種選擇:硅中間層(全被動硅晶圓)和硅橋(扇出式模塑化合物中的局部硅橋或帶腔基板)。優(yōu)勢:最精細的布線特征,適用于高性能計算集成。挑戰(zhàn):材料和制造成本較高,封裝面積限制。未來趨勢:增加使用局部硅橋以解決面積限制和成本問題。
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2. 有機基中間層:
/ j, R- Y e" h/ r" o H使用扇出式模塑化合物而非有機基板。優(yōu)勢:介電常數(shù)低于硅(較低的RC延遲),更具成本效益。挑戰(zhàn):難以達到與硅基封裝相同水平的互連特征縮減。# ~( u2 O& y4 ?) Z' s& D4 k
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3. 玻璃基中間層:% w3 \2 O1 X! R. _7 n7 h
優(yōu)勢:可調(diào)熱膨脹系數(shù)(CTE),高尺寸穩(wěn)定性,光滑平整的表面。布線特征有潛力與硅媲美。挑戰(zhàn):生態(tài)系統(tǒng)不成熟,目前缺乏大規(guī)模量產(chǎn)能力。7 p5 V! |$ Y6 s+ m- T* p5 \. d
5 n F6 Z% ~8 u+ o3 g2 ^! I3D封裝技術& A6 U* B2 ?. p
3D封裝技術專注于芯片的垂直堆疊,主要有兩種方法:
. ^" V2 F* l4 x0 o& C* x1. 微凸點技術:, z4 Q ~& ?- L7 m( R" Y( I
基于熱壓焊接(TCB)工藝。技術成熟,應用于多種產(chǎn)品。持續(xù)努力縮小凸點間距。挑戰(zhàn):較小焊球中金屬間化合物(IMCs)形成增加,潛在的焊球橋接問題,與銅相比電阻率較高。
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0 ^- a( i( S! Z; ^2. 混合鍵合:
2 U* h) }2 `6 u4 u通過結合介電材料(SiO2)和嵌入金屬(Cu)創(chuàng)建永久互連。實現(xiàn)低于10微米(通常為個位數(shù)μm)的間距。優(yōu)勢:擴展I/O,增加帶寬,增強3D垂直堆疊,提高功率效率,減少寄生效應和熱阻。挑戰(zhàn):制造復雜性和較高成本。
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應用和市場影響6 G9 {( A0 m6 _
先進半導體封裝技術在多個關鍵市場中找到應用:
! U4 C+ | L6 |. d! y1. 人工智能和數(shù)據(jù)中心:
% x/ K' b) Z, O& l推動對高性能計算解決方案的需求。需要能夠處理增加的功率和性能需求的封裝技術。7 g, g; \9 @8 _5 k( N) }9 Z
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2. 5G網(wǎng)絡:
I* i8 L$ H5 m8 W先進封裝對5G無線電和網(wǎng)絡基礎設施至關重要。實現(xiàn)更高頻率和增加帶寬。
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3. 自動駕駛汽車:+ _! Z$ d5 O' s t+ S7 j2 i! x1 N
需要先進封裝用于傳感器、處理器和通信系統(tǒng)。強調(diào)在惡劣環(huán)境中的可靠性和性能。6 [1 H. [! H. ^) B6 w; |
' J0 s0 ]+ d6 [4. 消費電子:; `! j% @- ^9 F3 z0 C
智能手機、平板電腦、智能手表和AR/VR設備受益于更小的尺寸和更高的性能。先進封裝實現(xiàn)在緊湊設計中集成多種功能。
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未來展望 n; M& \6 g" P$ [8 H c
先進半導體封裝行業(yè)將迎來顯著增長和創(chuàng)新。需要關注的主要趨勢包括:
! }' e# e X) c4 F# D1 m互連間距持續(xù)縮小,特別是混合鍵合技術。開發(fā)新材料和工藝以解決熱管理和功率效率挑戰(zhàn)。增加采用基于chiplet的設計和異構集成。玻璃基中間層技術的成熟和潛在的廣泛采用。制造工藝的進步,以降低成本和提高良率。
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% s0 i( n3 S1 n9 H+ L隨著對更強大、更高效電子設備需求的持續(xù)增長,先進半導體封裝將在實現(xiàn)下一代技術方面發(fā)揮關鍵作用。從人工智能和5G到自動駕駛汽車及更多領域,這些封裝創(chuàng)新將成為日益互聯(lián)和智能世界的核心。: ?, ?% { C; c
. M% g: ], |4 R9 I參考文獻! S/ [7 d0 {# }
[1] IDTechEx, "Advanced Semiconductor Packaging 2024-2034: Forecasts, Technologies, Applications," IDTechEx, Jan. 11, 2024. [Online]. Available: https://www.azonano.com/news.aspx?newsID=40634.
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8 j1 ~' Y2 `: G. G7 B深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導體芯片設計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設計和仿真軟件,提供成熟的設計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設計與仿真。我們提供特色工藝的半導體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務,廣泛服務于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術與服務。
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