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引言
9 Y3 G+ @3 k7 L, H! E7 U" B半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展,推動(dòng)技術(shù)邊界,以滿足對(duì)更快、更高效、更強(qiáng)大電子設(shè)備的持續(xù)增長(zhǎng)需求。這一領(lǐng)域的關(guān)鍵創(chuàng)新之一是先進(jìn)半導(dǎo)體封裝。本文簡(jiǎn)介2.5D和3D封裝技術(shù)的發(fā)展、優(yōu)勢(shì)和挑戰(zhàn),以及在各種應(yīng)用中的影響[1]。 |) r* J3 P' O& u' b% i% Z8 Y2 Y
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半導(dǎo)體封裝的演變0 Q, |- ^( k! K% v% G4 ~
半導(dǎo)體封裝技術(shù)已從最初的1D PCB水平發(fā)展到今天的晶圓級(jí)3D混合鍵合封裝。這一進(jìn)步實(shí)現(xiàn)了單位數(shù)微米的互連間距,能夠以高能效達(dá)到超過(guò)1000 GB/s的帶寬。7 V" x* q$ \4 T. r0 x7 z. U
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四個(gè)關(guān)鍵參數(shù)塑造了先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的發(fā)展:功率:通過(guò)創(chuàng)新封裝技術(shù)提高功率效率。性能:通過(guò)縮短互連間距增加輸入/輸出(I/O)點(diǎn)數(shù),提高帶寬并減少通信長(zhǎng)度。面積:高性能計(jì)算芯片需要更大的封裝面積,而3D集成則需要更小的z軸尺寸。成本:通過(guò)使用替代的更經(jīng)濟(jì)材料或提高制造設(shè)備效率,持續(xù)降低封裝成本。3 d9 C& O9 W6 E, Q& X3 A8 Z% z
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; B9 ]% Y: e9 m" {/ u; F" _- p, l2.5D封裝技術(shù): Q X$ ~' t) o
2.5D封裝技術(shù)涉及使用中間層連接多個(gè)芯片。根據(jù)中間層材料的選擇,2.5D封裝分為三種主要類(lèi)型:
! \4 t; y k" G5 i1. 硅基中間層:8 ]6 [% i4 L* |( ]8 t' F
兩種選擇:硅中間層(全被動(dòng)硅晶圓)和硅橋(扇出式模塑化合物中的局部硅橋或帶腔基板)。優(yōu)勢(shì):最精細(xì)的布線特征,適用于高性能計(jì)算集成。挑戰(zhàn):材料和制造成本較高,封裝面積限制。未來(lái)趨勢(shì):增加使用局部硅橋以解決面積限制和成本問(wèn)題。) ]- D4 I# B4 N8 a. J3 Q
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2. 有機(jī)基中間層:& n1 A( g6 i# m
使用扇出式模塑化合物而非有機(jī)基板。優(yōu)勢(shì):介電常數(shù)低于硅(較低的RC延遲),更具成本效益。挑戰(zhàn):難以達(dá)到與硅基封裝相同水平的互連特征縮減。6 N; H' @4 A' ]/ s/ p$ [
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3. 玻璃基中間層:
# _4 l: i/ I' n4 @優(yōu)勢(shì):可調(diào)熱膨脹系數(shù)(CTE),高尺寸穩(wěn)定性,光滑平整的表面。布線特征有潛力與硅媲美。挑戰(zhàn):生態(tài)系統(tǒng)不成熟,目前缺乏大規(guī)模量產(chǎn)能力。
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3D封裝技術(shù)
, y% {, L: m9 T4 { K3D封裝技術(shù)專(zhuān)注于芯片的垂直堆疊,主要有兩種方法:
% D6 C9 O+ f' j+ c1. 微凸點(diǎn)技術(shù):+ [) T5 Q. R5 Z+ b0 U& _, l- R* @
基于熱壓焊接(TCB)工藝。技術(shù)成熟,應(yīng)用于多種產(chǎn)品。持續(xù)努力縮小凸點(diǎn)間距。挑戰(zhàn):較小焊球中金屬間化合物(IMCs)形成增加,潛在的焊球橋接問(wèn)題,與銅相比電阻率較高。
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2. 混合鍵合:% J8 q( D! V5 i# G' u- U! n0 R
通過(guò)結(jié)合介電材料(SiO2)和嵌入金屬(Cu)創(chuàng)建永久互連。實(shí)現(xiàn)低于10微米(通常為個(gè)位數(shù)μm)的間距。優(yōu)勢(shì):擴(kuò)展I/O,增加帶寬,增強(qiáng)3D垂直堆疊,提高功率效率,減少寄生效應(yīng)和熱阻。挑戰(zhàn):制造復(fù)雜性和較高成本。- o0 L1 _, [5 ^
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1 c( {$ ?! |- A# y$ H) y應(yīng)用和市場(chǎng)影響& p$ I X/ W j/ W( Y
先進(jìn)半導(dǎo)體封裝技術(shù)在多個(gè)關(guān)鍵市場(chǎng)中找到應(yīng)用:, D$ U& q1 g2 v6 ^. l" T3 w
1. 人工智能和數(shù)據(jù)中心:- [2 ^+ {$ Q) V+ M& }3 u) v
推動(dòng)對(duì)高性能計(jì)算解決方案的需求。需要能夠處理增加的功率和性能需求的封裝技術(shù)。; a1 G1 O9 ^7 I" O0 \
. s! P+ s' B9 G; |2. 5G網(wǎng)絡(luò):
2 w2 T5 [, Y/ E5 l2 e先進(jìn)封裝對(duì)5G無(wú)線電和網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施至關(guān)重要。實(shí)現(xiàn)更高頻率和增加帶寬。
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3. 自動(dòng)駕駛汽車(chē):
& ], d& L/ b: A `需要先進(jìn)封裝用于傳感器、處理器和通信系統(tǒng)。強(qiáng)調(diào)在惡劣環(huán)境中的可靠性和性能。
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4. 消費(fèi)電子:
. R0 c! |5 G/ ]+ W) D: j( G智能手機(jī)、平板電腦、智能手表和AR/VR設(shè)備受益于更小的尺寸和更高的性能。先進(jìn)封裝實(shí)現(xiàn)在緊湊設(shè)計(jì)中集成多種功能。+ b. ]; H- y y4 M) y7 G# k0 _: o& g A
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未來(lái)展望
- L* F X" j: Y# ~/ T先進(jìn)半導(dǎo)體封裝行業(yè)將迎來(lái)顯著增長(zhǎng)和創(chuàng)新。需要關(guān)注的主要趨勢(shì)包括:
7 S. r* K8 {6 L6 e/ h: Z互連間距持續(xù)縮小,特別是混合鍵合技術(shù)。開(kāi)發(fā)新材料和工藝以解決熱管理和功率效率挑戰(zhàn)。增加采用基于chiplet的設(shè)計(jì)和異構(gòu)集成。玻璃基中間層技術(shù)的成熟和潛在的廣泛采用。制造工藝的進(jìn)步,以降低成本和提高良率。1 Y5 Z/ K' N4 F2 Q8 ?8 E
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隨著對(duì)更強(qiáng)大、更高效電子設(shè)備需求的持續(xù)增長(zhǎng),先進(jìn)半導(dǎo)體封裝將在實(shí)現(xiàn)下一代技術(shù)方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。從人工智能和5G到自動(dòng)駕駛汽車(chē)及更多領(lǐng)域,這些封裝創(chuàng)新將成為日益互聯(lián)和智能世界的核心。
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2 ]1 C: ^, W5 v) K8 D參考文獻(xiàn)
* ?( h; x# {' D8 g$ D[1] IDTechEx, "Advanced Semiconductor Packaging 2024-2034: Forecasts, Technologies, Applications," IDTechEx, Jan. 11, 2024. [Online]. Available: https://www.azonano.com/news.aspx?newsID=40634.
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專(zhuān)注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開(kāi)發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對(duì)光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國(guó)內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。
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